Hochauflösendes Feldemissions-Raster-Elektronenmikroskop mit 2 Säulen
Auflösung Elektronenstrahl: – 0.8 nm bei 15 kV – 1.5 nm bei 200 V
Auflösung Ionenstrahl: – 4.0 nm bei 30 kV unter Verwendung einer bevorzugten statistischen Methode – 2.5 nm bei 30 kV unter Verwendung der selektiven Kantenmethode
Maximale Probengrösse: 150 mm im Durchmesser, 55 mm in der Höhe
Maximales Probengewicht: 500 g (inkl. Probenhalter)
Detektoren und Mikroanalyse
Elstar in-lens SE Detektor (TLD-SE)
Elstar in-lens BSE Detektor (TLD-BSE)
Everhart-Thornley SE Detektor (ETD)
Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS), Genesis & Team Software
Typische Applikationen und Zubehör
Abbilden, Analysieren, Fräsen und Strukturierung von Proben bis in den Nanometerbereich
TEM lift out / TEM lamella
Nanofabrikation und Mikromanipulation
Multiples Gasinjektionssystem für Pt-, W-, C-, Co- und H20- Abscheidung