REM – FEI Helios Nano Lab 650
Technische Spezifikationen
- Hochauflösendes Feldemissions-Raster-Elektronenmikroskop mit 2 Säulen
- Auflösung Elektronenstrahl:
– 0.8 nm bei 15 kV
– 1.5 nm bei 200 V - Auflösung Ionenstrahl:
– 4.0 nm bei 30 kV unter Verwendung einer bevorzugten statistischen Methode
– 2.5 nm bei 30 kV unter Verwendung der selektiven Kantenmethode - Maximale Probengrösse: 150 mm im Durchmesser, 55 mm in der Höhe
- Maximales Probengewicht: 500 g (inkl. Probenhalter)
Detektoren und Mikroanalyse
- Elstar in-lens SE Detektor (TLD-SE)
- Elstar in-lens BSE Detektor (TLD-BSE)
- Everhart-Thornley SE Detektor (ETD)
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS), Genesis & Team Software
Typische Applikationen und Zubehör
- Abbilden, Analysieren, Fräsen und Strukturierung von Proben bis in den Nanometerbereich
- TEM lift out / TEM lamella
- Nanofabrikation und Mikromanipulation
- Multiples Gasinjektionssystem für Pt-, W-, C-, Co- und H20- Abscheidung
- Korrelative Mikroskopie (LM – REM)
- 3-axis and Rotip Kleindiek micromanipulator
- Lift Out Shuttle von Kleindiek
- Eucentric five Axis Table von Kleindiek
- Mikromanipulator OmniProbe 200
Standort
Pharmazentrum, U1007