Nano Fabrication Lab

Reinraum

Das Nanofabrication Lab (NF Lab) ist im Departement Physik der Universität Basel (Klingelbergstrasse 82, 4056, Basel) angesiedelt und bildet zusammen mit dem Nano Imaging Lab (NI Lab) das Nanotechnology Center des SNI.

Das Nanofabrication Lab bietet die Ausrüstung, das Umfeld und die Erfahrung, die für die Herstellung und das Prototyping von hochmodernen Mikro- und Nanobauteilen benötigt werden, die in der Grundlagen- und angewandten Physik der kondensierten Materie eingesetzt werden. Die hochmodernen Lithographie-, Abscheidungs-, Ätz- und Nachbearbeitungssysteme sowie der Reinraum (CR) ermöglichen es den Nutzern des Nanofabrication Labs, routinemäßig Metall-, Halbleiter- und Polymermaterialien im Mikro- (<100 um) und Nanomassstab (<100 nm) zu strukturieren und zu bearbeiten. Dies führt zu exzellenten Nanomaterialien und -geräten , die den Kern der experimentellen Forschungsprojekte innerhalb des SNI bilden.

    Reinraum

    Zur Zeit gehören zum Nanofabrication Lab:

    • 500 m2 Laborfläche (30 m2 Reinraum der Klasse ISO7)
    • 70+ Kund:innen
    • 40+ Geräte für die Fabrikation und Charakterisierung
    • Ein Reinraum-Techniker und ein Reinraum-Manager