• Hochauflösendes Feldemissions-Raster-Elektronenmikroskop mit Schottky Emitter
• Vergrößerung: 30 x – 1280 kx im „Quad“-Modus
• Auflösung Elektronenstrahl:
  • 2 nm bei 30 kV
  • 9 nm bei 1 kV
• Ionenstrahlauflösung:
  • 7 nm bei 30 kV am Strahlkoinzidenzpunkt (5 nm erreichbar bei optimalem Arbeitsabstand)
• Standard 5-Achsen Motortisch:
  • X, Y: 110 mm
  • Z: 65 mm motorisiert
  • T: -15° bis +90°
  • R: n x 360° (endlos)
  • X, Y-Wiederholbarkeit: 2,0 μm
  • Probengewicht: 500 g in jeder Tischposition (bis zu 2 kg bei 0 Grad Neigung)
  • Maximaler Abstand zwischen Stufe und Koinzidenzpunkt: 85 mm auf euzentrischer Höhe
  • Maximale Probengrösse: – 150 mm Durchmesser bei voller Drehung (größere Proben mit eingeschränkter Rotation möglich)

Detektoren und Mikroanalyse

• Everhart-Thornley SE-Detektor (ETD)
• Einziehbarer Niederspannungs- und Rückstreuelektronendetektor
• IR-Kamera zum Betrachten der Probe/Säule
• Hochleistungs SE- und SI- (Sekundärionen) Detektor (ICE)
• Detektor für energiedispersive Röntgenstrahlspektroskopie (Apollo EDX) mit Genesis & Team Software (EDAX)

Typische Applikationen und Zubehör

• Abbilden, Analysieren, Fräsen und Strukturierung von Proben bis in den Nanometerbereich
• TEM lift out / TEM lamella
• Nanofabrikation und Mikromanipulation
• Multiples Gasinjektionssystem für Au-und Pt-Abscheidung (FEBID und FIBID); C-Abscheidung (nur FEBID)
• Mikromanipulator von Kleindiek

Standort

Pharmazentrum, U1007