REM – Hitachi S-4800
Technische Spezifikationen
- Hochauflösendes Kaltfeldemissions-Rasterelektronenmikroskop
- Auflösung Elektronenstrahl:
– 1.0 nm bei 15 kV
– 1.4 nm bei 1 kV - Vergrösserung von 20x bis 800’000x
Detektoren
- SE Detektor (normal)
- SE In-Lens Detektor
- YAG-Rückstreu-Elektronendetektor
Typische Applikationen
- Hochauflösende, topographische Kontrastbildgebung von Festkörpern
Standort
Pharmazentrum, U1003