REM – Philips XL30
Technische Spezifikationen
- Feldemissions-Raster-Elektronenmikroskop inkl. Cryo-Einheit von Gatan (siehe unten)
- Auflösung Elektronenstrahl: 20 nm bei 30 kV (Hochvakuum-Mode)
Detektoren und Mikroanalyse
- SE Detektor
- Rückstreu-Elektronendetektor
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS), EDAX Genesis 6.0 Software
- Modifiziert durch RemX GmbH
- DISS5 Software von REM-X GmbH
Typische Applikationen und Zubehör
- Abbildung von Standardproben im Hochvakuum
- Untersuchung von anorganischem Material, SE- und BSE-Mode in Kombination mit EDX
- Kryo-Einrichtung, speziell geeignet für wasserhaltige, organische oder wärmeempfindliche Materialien.
Standort
Pharmazentrum, U1002
Kryo-Präparationseinheit Gatan Alto 2500
- Stickstoff gekühlter Probentisch (-185°C bis +50°C) und Schnittstelle zum REM-Tisch
- Stickstoff-Wärmetausch-Behälter und Gasdurchführungen zur REM-Kammer
- Kugelventil mit Mikroschaltern und mechanischer Verriegelung und Schnittstelle zur REM-Kammer
- Hochvakuum-Kryopräparationskammer mit integriertem Stickstoffbehälter, Probentisch und variabler Temperatur (-185°C bis +100°C)
- Vorrichtung für Gefrierbruch mit rotierbarer Klinge
- Binokulares Betrachtungsgerät, x10 und x20 Vergrößerung
- Kaltmagnetron-Sputterquelle für hochauflösende Sputterbeschichtung (mit Au-, AuPd- und Pt-Target)
- Turbomolekulares Pumpsystem für die Kryopräparationskammer
- Tastenfeldsteuerung für das Vakuum
- 2-pot-Gefrierstation zur Herstellung von Stickstoffslush und zum Laden von vorgefrorenen Proben
- Überdruck N2-Gefäss mit Gasflussregler zur Kühlung der SEM-Kaltstufe und zur Gasspülung
