• Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM) mit den Bearbeitungsfunktionen eines fokussierten Ga-Ionenstrahls (Ga-FIB) 
• motorisierter 6-Achsen und super-euzentrischer Probentisch
• Probentischbewegungen: XY 100 mm, Z 50 mm
• Airlock 80 mm Schleusenöffnung
• Vergrösserung: 33 - 5000K-fach
• Auflösung mit dem Elektronenstrahl:
  • 0.9 nm bei 15 kV
• FIB Capella Säule (Ga-LMIS):
  • Auflösung mit dem Ionenstrahl: 3 nm bei 30 kV
  • Probenspannung: 500 V - 30 kV
  • Probenstrom: 1 pA - 100 nA

Detektoren und Mikroanalyse

• SESI Detektor für Sekundärelektronen und Sekundärionen
• Energieselektiver Rückstreu-Inlens Detektor
• BSD rückziehbarer Diodendetektor mit 4 Quadranten

Typische Anwendungen und Zubehör

• Abbilden, Analysieren, Fräsen und Querschneiden von Proben im Nanometerbereich
• TEM Lamellen: "lift out" und Ausdünnung
• Nanofabrikation and Mikromanipulation
• Gasinjektionssystem für Pt Ablagerung (FEBID und FIBID)
• 3-Achsen- und Rotip-Mikromanipulator von Kleindiek

Standort

Pharmazentrum, U1097