verfügt über Gemini 2-Optik mit einem Doppelkondensor, welcher eine kontinuierliche Anpassung des Elektronenstrahls von 0.02 – 30kV (10V-Schritte) ermöglicht
Auflösung Elektronenstrahl:
0.7 nm @ 15 kV
1.1 nm @ 500 V and 1 kV
Vergrösserung: 12x – 2’000’000x
Detektoren und Mikroanalyse
SE InLens Detektor
EsB Detektor, Energy-selective Backscattered Detektor zur SE- und BSE-Detektion
SE2 Detektor (Everhart-Thornley)
VPSE Detektor, Variable Presssure Secondary Electron Detektor zur Untersuchung von nicht-leitenden Oberflächen
aSTEM Detektor
aBSD Detektor, annular BackScattered electron Detector für hocheffiziente und winkelselektive Materialcharakterisierung
Octane Elite Detektor zur Bestimmung leichter Elemente und Mikroanalyse bei niedrigen kV in Kombination mit der Velocity Pro EBSD-Kamera (Electron BackScatter Diffraction) von EDAX
Charakterisierung von Electron Backscatter Diffraction (EBSD)-Mustern (Kristallorientierung) innerhalb der APEX-Softwareplattform