REM – Zeiss FIB-SEM Crossbeam 550
Technische Spezifikationen
- Extra große Probenkammer mit 520 mm Innendurchmesser und 307 mm Höhe
- Airlock 80 mm Schleusenöffnung
- Navigationskamera (an der 80 mm Schleuse angebracht), für die Bildaufnahmen von Proben für SmartSEM Image
- motorisierter 6-Achsen und super-euzentrischer Probentisch
- Probentischbewegungen: XY 153 mm, Z 50 mm
- Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit patentierter GEMINI® II-Elektronenoptik für schnelle und hochauflösende Analytik und Abbildung. Das FE-REM ist ausgelegt für den Betrieb mit einem fokussierten Ga-Ionenstrahl (Ga-FIB)
- Die SEM Säule kann zur Steigerung der Auflösung Emitter-seitig in einen speziellen Hochauflösungs Modus (High resolution Gun Mode) umgeschalten werden
- Auflösung mit dem Elektronenstrahl:
- 0.6 nm bei 30kV STEM (optional)
- 0.7 nm bei 15 kV
- 1.4 nm bei 1kV
- 1.2 nm bei 1kV mit Tandem Decel Option
- 1.3 nm bei 200V mit Tandem Decel Option
- Auflösung im Koinzidenzpunkt FE-REM/Ga-FIB: 0.9 nm bei 15kV, 1.8 nm (1.3 nm bei 1kV mit Tandem Decel Option)
- Beschleunigungsspannung: 20 V – 30 kV
- Strahlstrom: 10 pA – 40 nA
- FIB-Ion-sculptor:
- Optimale laterale Auflösung: 3 nm bei 30 kV
- Energiebereich: 500 V – 30 kV
- Strahlstrom: 1 pA – 100 nA
Detektoren und Mikroanalyse
- Kammer-Sekundärelektronendetektor (Everhart-Thornley)
- In-lens SE-Detektor
- In-lens EsB Detektor: Energieselektive Detektion von Rückstreuelektronen
- Pneumatisch rückziehbarer, hoch-effizienter, annularer 5-Sektor-BSE Halbleiterdetektor. Der äußere Ring besteht aus 4 Vierteln, die die Aufnahme von topographischem Kontrast ermöglichen
- Oxford Instruments EDS System: AZtecLive Standard mit Ultim Max Infinity (Sensorgrösse 170 mm2)
Typische Anwendungen und Zubehör
- Abbilden, Analysieren, Fräsen und Querschneiden von Proben im Nanometerbereich
- TEM Lamellen: "lift out" und Ausdünnung
- Gasinjektionssystem für C Ablagerung (FEBID und FIBID)
- Gas Kartusche für erhöhten Materialabtrag (Wasser): MgSO₄ x 7 H₂O
- Nanofabrikation and Mikromanipulation
Standort
Pharmazentrum, U1039